11月2日，上海勵兆科技有限公司（以下簡稱“勵兆科技”）臨港工廠入駐儀式在臨港藍灣舉行。勵兆科技作為行業(yè)領先的半導體設備專用射頻產品供應商，致力于為先進的半導體工藝設備開發(fā)生產射頻電源，自動匹配器和遠程等離子源等關鍵零部件并提供一站式射頻解決方案。作為臨港集團“十四五”科創(chuàng)重點扶持項目，其自主研發(fā)的各類相關射頻產品，技術指標已達到國際主流水平，致力于解決國內半導體設備核心零部件“卡脖子”問題。

勵兆科技臨港產業(yè)化基地約4400平米，將建成覆蓋射頻電源、自動匹配器和RPS遠程等離子源等射頻產品的多條生產線，實現(xiàn)半導體設備核心射頻零部件的全面量產，進一步加速國產化替代進程。臨港新片區(qū)成立5年來，以集成電路產業(yè)為核心，已形成了集設計、高端制造、裝備材料、先進封測、芯片貿易于一體的全產業(yè)鏈聚集地，涵蓋了成熟特色工藝、先進邏輯工藝及化合物半導體等領域。勵兆科技臨港工廠的入駐，將推動新片區(qū)半導體產業(yè)的持續(xù)創(chuàng)新和發(fā)展，推進建設具有國際影響力的綜合性集成電路產業(yè)創(chuàng)新基地。