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2024年11月18-21日，第十屆國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS2024）&第二十一屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA2024）、先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)應(yīng)用創(chuàng)新展（CASTAS）將在蘇州國(guó)際博覽中心G館舉辦。?
目前，“碳化硅襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù)分會(huì)”日程出爐，分會(huì)得到北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、AIXTRON、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司、蘇州思體爾軟件科技有限公司、國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）的協(xié)辦支持。山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任、新一代半導(dǎo)體材料研究院院長(zhǎng)徐現(xiàn)剛，美國(guó)?PowerAmerica 執(zhí)行董事兼CTO、ICSCRM 2024 大會(huì)主席、北卡羅萊納州立大學(xué)教授 ?、IEEE寬禁帶功率半導(dǎo)體技術(shù)路線圖委員會(huì)(ITRW)主席Victor VELIADIS，瀚天天成電子科技(廈門(mén))有限公司總經(jīng)理馮淦將受邀聯(lián)袂主持本屆分會(huì)。?
屆時(shí)，韓國(guó)東義大學(xué)教授、釜山電力半導(dǎo)體研究所所長(zhǎng)Won-Jae LEE，山東大學(xué)教授、南砂晶圓董事陳秀芳，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司博士張軼銘，美國(guó)電力執(zhí)行董事?& CTO、ICSCRM2024大會(huì)主席、北卡羅來(lái)納州立大學(xué)教授、IEEE寬禁帶功率半導(dǎo)體技術(shù)路線圖委員會(huì)(ITRW)主席Victor VELIADIS，AIXTRON中國(guó)總經(jīng)理方子文，浙江大學(xué)教授、?浙江材孜科技有限公司董事長(zhǎng)皮孝東，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司工藝主任工程師陳丹瑩，河北普興電子科技股份有限公司市場(chǎng)總監(jiān)張國(guó)良等來(lái)自國(guó)內(nèi)外的實(shí)力派專家們將齊聚一堂，分享主題報(bào)告，聚焦探討碳化硅襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù)的前沿趨勢(shì)，敬請(qǐng)期待！
分會(huì)詳細(xì)日程?
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技術(shù)分會(huì)：碳化硅襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù) Technical Sub-Forum：SiC Substrate & Epitaxial Growth and Equipment |
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時(shí)間：2024年11月20日08:50-11:55 地點(diǎn)：蘇州國(guó)際博覽中心G館 ? G103-104 Time: Nov 20, 08:50-11:55 Location:?Suzhou International Expo Centre ? G103-104 |
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協(xié)辦支持 Co-organizer ? ? |
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 Beijing Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd. AIXTRON 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China 蘇州思體爾軟件科技有限公司 Suzhou STR Software Technology Co. Ltd. 國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州） National Center of Technology Innovation for Wide Bandgap Semiconductors (Suzhou) |
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主持人 Moderator ??? ??????????????? |
徐現(xiàn)剛/XU Xiangang 山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任、新一代半導(dǎo)體材料研究院院長(zhǎng) Director of State Key Lab of Crystal Materials, Shandong University & Dean of Institute of Novel Semiconductors, Shandong University ? Victor VELIADIS 美國(guó) PowerAmerica 執(zhí)行董事兼CTO、ICSCRM 2024 大會(huì)主席、北卡羅萊納州立大學(xué)教授 ?、IEEE寬禁帶功率半導(dǎo)體技術(shù)路線圖委員會(huì)(ITRW)主席 Executive Director and CTO of PowerAmerica, Chair of ICSCRM 2024, Professor of North Carolina State University and Chair of ITRW ( IEEE Wide Bandgap Power Semiconductor Technology Roadmap Committee) ? 馮淦/FENG Gan 瀚天天成電子科技(廈門(mén))有限公司總經(jīng)理 GM of GM of Epiworld International Co., Ltd. |
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08:50-09:00 |
嘉賓致辭 & 合影 /?Opening?Address?& Group Photo Shooting |
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09:00-09:20 ? |
SiC單晶的坩堝結(jié)構(gòu)及PVT生長(zhǎng)工藝條件的改進(jìn)SiC Single Crystals with Modification of Crucible Structure and Process Condition for PVT Growth Won-Jae LEE——韓國(guó)東義大學(xué)教授、釜山電力半導(dǎo)體研究所所長(zhǎng) Won-Jae LEE——Professor of Dong-Eui University,?Director of Busan Power Semiconductor Lab. |
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09:20-09:40 |
碳化硅單晶缺陷研究及產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展 Research and Industrialization Progress of SiC Single Crystal Defects 陳秀芳——山東大學(xué)教授、南砂晶圓董事 CHEN Xiufang——?Professor of Shandong University, Chair of Guangzhou Summit Crystal Semiconductor Co.,Ltd |
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09:40-10:00 |
面向SiC功率器件的裝備與工藝解決方案 NAURA Solutions for SiC Power Devices 張軼銘——北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司博士? Dr Zhang Yiming——Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co.,Ltd |
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10:00-10:15 |
茶歇/Coffee Break |
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10:15-10:35 |
硅晶圓廠中的SiC制造 SiC Fabrication in a Silicon Fab Victor VELIADIS——美國(guó)電力執(zhí)行董事 &?CTO、ICSCRM2024大會(huì)主席、北卡羅來(lái)納州立大學(xué)教授、IEEE寬禁帶功率半導(dǎo)體技術(shù)路線圖委員會(huì)(ITRW)主席 Victor VELIADIS——Executive Director and CTO of PowerAmerica, Chair of ICSCRM 2024, Professor of North Carolina State University and Chair of ITRW |
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10:35-10:55 |
化合物半導(dǎo)體外延大規(guī)模量產(chǎn)解決方案 High Volume Manufacturing of Compound Semiconductors Epitaxy 方子文——AIXTRON中國(guó)總經(jīng)理 FANG Ziwen——GM of AIXTRON China |
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10:55-11:15 |
提拉式物理氣相傳輸法制備碳化硅單晶 Single-crystal 4H silicon carbide grown with the method of pulling physical vapor transport 皮孝東——浙江大學(xué)教授、?浙江材孜科技有限公司董事長(zhǎng) PI Xiaodong——Professor of Zhejiang University，President of Zhejiang IVSEMITEC Co.,Ltd |
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11:15-11:35 |
PRISMO PDS8 – 用于SiC功率器件外延生長(zhǎng)的CVD設(shè)備 AMEC PRISMO PDS8 CVD System for Epitaxial Growth of SiC Power Device 陳丹瑩——中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司工藝主任工程師 CHEN?Danying——Process Chief engineer of Advanced Micro-fabrication Equipment Inc. (China) |
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11:35-11:55 |
大直徑碳化硅外延市場(chǎng)發(fā)展與挑戰(zhàn) Large diameter SiC epitaxy market development and challenges 張國(guó)良——河北普興電子科技股份有限公司市場(chǎng)總監(jiān) ZHANG Guoliang——Hebei Pushing Electronic Technology Co., LTD |
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11:55-14:00 |
午餐 /?Lunch |
參會(huì)聯(lián)系
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