國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，浙江睿熙科技有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“VCSEL 集成晶圓及其制造方法”的專利，公開(kāi)號(hào) CN 119134035 A，申請(qǐng)日期為 2023 年 7 月。

專利摘要顯示，公開(kāi)了一種 VCSEL 集成晶圓及其制造方法，其中，所述 VCSEL 集成晶圓包括：至少一 VCSEL 芯片、與所述 VCSEL 芯片相間隔的至少一光電二極管芯片，以及，在晶圓級(jí)別上集成于所述 VCSEL 芯片的熱電制冷結(jié)構(gòu)，每一 VCSEL 芯片包括至少一 VCSEL 發(fā)光點(diǎn)；所述 VCSEL 芯片和所述光電二極管芯片共用襯底層；所述熱電制冷結(jié)構(gòu)包括多個(gè)熱電偶對(duì)，每一熱電偶對(duì)包括相互電連接的 P 型結(jié)構(gòu)和 N 型結(jié)構(gòu)。