?7月14日，華海清科股份有限公司全資子公司芯崳半導體（上海）有限公司自主研發的首臺12英寸低溫離子注入機iPUMA-LT順利出機，并發往國內邏輯芯片制造領域的龍頭企業。

華海清科實現了面向先進制程芯片制造的大束流離子注入機各型號的全覆蓋。離子注入裝備是集成電路制造前道工藝的關鍵裝備，技術壁壘極高，國內集成電路制造企業長期以來主要依賴進口裝備，國產替代空間巨大。

目前，華海清科已推出大束流離子注入機系列裝備，并積極布局中束流離子注入機及高能離子注入機等系列裝備。