?近日，48所與國內某頭部企業簽訂超億元MOCVD設備訂單，并與國內頭部砷化鎵電池企業簽訂大規模MOCVD供貨戰略合作協議。

48所自研的MOCVD設備是一款專用于III-V族化合物半導體材料外延生長的關鍵裝備，該設備以砷/磷材料體系為核心，可高效制備砷化鎵、磷化銦等材料。該設備適用于光電激光器、射頻器件、空間太陽電池等領域，為5G通信、人工智能和自動駕駛等新興技術提供了核心材料制備平臺。設備集成了在線監測、全自動傳輸等先進技術，在材料均勻性、界面陡峭度和摻雜精度等關鍵指標上均達到行業領先水平。

作為國內化合物半導體外延裝備領域的領軍企業，48所已成功推出SiC外延爐、MBE設備及MOCVD等系列化設備。2022年曾斬獲國內龍頭企業最大規模6英寸SiC外延爐設備訂單，實現了國產外延高端裝備重大突破。

此次MOCVD設備的最新突破，將進一步拓寬48所在半導體領域的業務范疇，更好助力國家半導體裝備產業集聚區的建設。

（來源：中國電科第四十八研究所）