據(jù)徐州日?qǐng)?bào)報(bào)道,近日,徐州高新區(qū)再傳捷報(bào)——江蘇集芯先進(jìn)材料有限公司(以下簡(jiǎn)稱“江蘇集芯”)成功出爐首枚8英寸液相法(LPE)高質(zhì)量碳化硅單晶。
經(jīng)檢測(cè),晶體面型、晶型與結(jié)晶質(zhì)量均達(dá)到預(yù)期目標(biāo),標(biāo)志著江蘇集芯在第三代半導(dǎo)體核心材料領(lǐng)域再下一城,也為我國(guó)碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控寫下關(guān)鍵一筆。
碳化硅晶體是第三代半導(dǎo)體的重要基礎(chǔ)材料,在6/8英寸物理氣相傳輸法(PVT)已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的基礎(chǔ)上,江蘇集芯“自我革命”,僅用半年便完成液相法工藝從6英寸到8英寸的研發(fā)跨越。
相比PVT,液相法在生產(chǎn)效率、材料利用率、成本控制及大尺寸擴(kuò)徑等方面優(yōu)勢(shì)顯著,被公認(rèn)為下一代碳化硅長(zhǎng)晶的核心路線。全球范圍內(nèi),僅極少數(shù)頂尖機(jī)構(gòu)曾試制出液相法晶體,真正邁入8英寸級(jí)仍屬罕見(jiàn)。江蘇集芯此次突破為未來(lái)低成本、低缺陷、易摻雜的碳化硅晶體生產(chǎn)打通了“快車道”。
截至目前,江蘇集芯已布局專利167件,其中發(fā)明專利83件,覆蓋晶體生長(zhǎng)等全流程。此次液相法8英寸單晶的成功,將進(jìn)一步夯實(shí)其“大尺寸+低成本”雙輪驅(qū)動(dòng)戰(zhàn)略,為后續(xù)產(chǎn)能擴(kuò)張、市場(chǎng)份額提升和長(zhǎng)期價(jià)值增長(zhǎng)奠定技術(shù)底座。
2025年是國(guó)家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)跨越式發(fā)展的關(guān)鍵之年。江蘇集芯的新突破,不僅提升了我國(guó)第三代半導(dǎo)體材料的戰(zhàn)略安全水平,也為徐州打造千億級(jí)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群注入了“加速度”,有望吸引更多上下游企業(yè)集聚,形成“材料—芯片—系統(tǒng)”完整生態(tài),進(jìn)一步放大區(qū)域在全球新興產(chǎn)業(yè)版圖中的聲量與影響力。