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佳能新光刻機(jī)工廠9月投產(chǎn),主攻成熟制程及封裝應(yīng)用

發(fā)表于:2025-08-05 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

據(jù)日媒報道,佳能(Canon)位于日本宇都宮市的新光刻機(jī)制造工廠將于9月正式投入量產(chǎn),主攻成熟制程及后段封裝應(yīng)用設(shè)備,為全球芯片封裝與成熟制程市場提供更多設(shè)備產(chǎn)能支持。

據(jù)悉,這座新工廠是佳能在2023年開始動工建設(shè)的,并可能使用自家開發(fā)的Nanoimprint(納米壓印)技術(shù),總投資額超過500億日元,涵蓋廠房與先進(jìn)制造設(shè)備。新廠面積達(dá)6.75萬平方公尺,投產(chǎn)后將使光刻設(shè)備總產(chǎn)能提升50%。

佳能董事長兼CEO Fujio Mitarai表示:“新工廠生產(chǎn)的設(shè)備匯集了佳能所有的技術(shù)實力。”

有報道稱,佳能重新關(guān)注成熟設(shè)備的原因在于生成式AI的熱潮。隨著電路微型化正接近極限,佳能發(fā)現(xiàn)此前用于前端的光刻設(shè)備可以用來形成中介層布線,于2011年率先推出用于后端工藝的光刻設(shè)備。時至今日,佳能仍幾乎擁有所有主要半導(dǎo)體制造商用于后端工藝的光刻設(shè)備。

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