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2025云南晶體大會前瞻|南京大學修向前:氮化鎵襯底生長工藝及設備技術研究

發表于:2025-09-05 來源:半導體產業網 編輯:

頭圖

?9月26-28日,“2025新一代半導體晶體材料技術及應用大會”將于云南昆明舉辦。屆時,南京大學教授修向前受邀將出席會議,并帶來《氮化鎵襯底生長工藝及設備技術研究》的主題報告,敬請關注!

6-修向前?

嘉賓簡介

修向前,南京大學電子科學與工程學院教授、博士生導師,國家重點研發計劃項目首席科學家。長期從事寬禁帶半導體襯底材料與器件、生長裝備以及大尺寸半導體單晶激光切片技術等方面的研究?

報告前瞻

報告題目:氮化鎵襯底生長工藝及設備技術研究

報告摘要:寬禁帶半導體氮化鎵具有優異的物理和化學特性,被廣泛研究和應用于光電和功率電子器件及紫外探測器件等。氮化鎵單晶是制備高性能器件最理想的襯底材料。本報告系統介紹了鹵化物氣相外延(HVPE)制備高質量GaN襯底的關鍵技術及發展趨勢。

?附會議信息:?

【會議時間】?2025年9月26-28日

【會議地點】云南·昆明?

【指導單位】

? 第三代半導體產業技術創新戰略聯盟(CASA)

? 中關村半導體照明工程研發及產業聯盟(CSA)

【主辦單位】

? 云南臨滄鑫圓鍺業股份有限公司

?極智半導體產業網(www.casmita.com)

?半導體照明網(www.china-led.net)

?第三代半導體產業

【承辦單位】

云南鑫耀半導體材料有限公司

北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司

【支持單位】

賽迪智庫集成電路研究所

?中國科學院半導體研究所

?云南大學

?山東大學

?云南師范大學

?昆明理工大學

?晶體材料全國重點實驗室

.....

【關鍵材料】

1、鍺、硅、砷化鎵、磷化銦等半導體材料生長與加工關鍵技術、器件工藝及應用研究;

2、氮化鎵、碳化硅等第三代半導體材料生長與加工關鍵技術、器件工藝及應用研究;

3、氮化鋁、金剛石、氧化鎵等超寬禁帶半導體材料生長與加工關鍵技術、器件工藝及應用研究;

【主要方向】

1.化合物半導體單晶與外延材料

(砷化鎵,磷化銦,氮化鎵,碳化硅,氮化鋁,氧化鎵,氮化硼,藍寶石,鈮酸鋰等晶體、外延生長及模擬設計等)

2. 硅、高純鍺及鍺基材料

(大硅片生長及及應用,直拉法或區熔法等單晶生長,原料提純,GeSi、GeSn、GeC 等多元單晶薄膜,切片與機械拋光,摻雜調控離子注入等)?

3.高純金屬、原輔料制備及晶體外延生長與加工關鍵裝備

(高純前驅體,高純試劑,高純氣體,高純粉體, 長晶爐,MOCVD, ?MBE, LPE,PVT 等外延生長裝備,Mo源,MBE 源, 石墨,切割,研磨及拋光設備與材料,檢測設備等)

4.測試評價及AI for Science

(AI 驅動的測試評價革新, 缺陷工程與摻雜策略、晶體生長智能調控、缺陷實時檢測與修復,多尺度建模,綠色制造優化 等)

5.光電子器件工藝與應用

(發光二極管,激光二極管,光電探測器件,太陽能電池,照明與顯示,激光雷達,光通信,量子技術等)

6.通訊射頻器件工藝與應用

(功率放大器,低噪聲放大器,濾波器,開關器件,移動通信,衛星通信,低空飛行器,無人機,射頻能量等)

7.能源電子及應用

(風電&光伏&儲能新能源,電動汽車,數據中心,工業電源,電機節能,軌道交通,智能電網,航空航天,工業控制,變頻家電,消費電子,儀器儀表等)

8.綠色廠務及質量管控

(潔凈廠房,高純水制備,化學品供應,特氣供應,廢氣處理及排放,廢液處理,大宗氣體供應及質量管控等)

【程序委員會】

大會主席:惠峰 (云南鍺業)

副主席:陳秀芳(山東大學)、趙璐冰(CASA)

委員:趙德剛(中科院半導體所)、康俊勇(廈門大學)、 徐寶強(昆明理工)、皮孝東(浙江大學)、耿博(CASA)、王軍喜(中科院半導體所)、孫錢(中科院蘇州納米所)、王垚浩(南砂晶圓)、 涂潔磊(云師大)、王宏興(西交大)、彭燕(山東大學)、李強(西交大)、寧靜(西電)、修向前(南京大學)、郭杰(云師大)、王茺(云南大學)、邱峰(云南大學)、楊杰(云南大學)、謝自力(南京大學)、葛振華(昆明理工大學)、田陽(昆明理工大學)、魏同波(中科院半導體所)、許福軍(北京大學)、徐明升(山東大學)、孫海定(中國科學技術大學)、田朋飛(復旦大學)、劉玉懷(鄭州大學)、朱振(浪潮華光)、楊曉光(中科院半導體所)、高娜(廈門大學)、陳飛宏(云南鍺業)、康森(天通控股)、解楠(賽迪研究院?)、房玉龍(中電科十三所)、鄧家云(昆明理工大學)、李寶學(云鍺紅外) ......等

【日程安排】

日程

【活動參與】

1、注冊費:會議通票2800元;早鳥票:9月20日前注冊報名2600元;(含會議資料袋,9月27日午餐、晚宴,9月28日午餐等 )。

2、繳費方式:

①銀行匯款

開戶行:中國銀行北京科技會展中心支行

賬 號:336 356 029 261

名 稱:北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司?

②在線注冊

報名二維碼

掃碼注冊報名

③現場繳費(微信+支付寶)

【論文投稿及報告咨詢】

賈老師:18310277858,jiaxl@casmita.com?

李老師:18601994986,linan@casmita.com?

【參會參展及商務合作】

賈先生:18310277858,jiaxl@casmita.com?

張女士:13681329411,zhangww@casmita.com?

【會議酒店】

酒店名稱:昆明億壕城堡溫德姆至尊酒店

酒店地址:中國(云南)自由貿易試驗區昆明片區經開區楓丹白露花園

協議價格:430元/晚(含雙早)

酒店預定聯系: 陳經理,13759452505(微信同號)

郵箱:13759452505@139.com

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